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本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片弯曲度的接触式测量方法。本标准适用于测量直径大于50mm,厚度为200~1000μm的圆形硅片的弯曲度。本标准也适用于测量其他半导体圆片弯曲度。
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